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晶体定向仪:
0415-2155900
传真电话:
0415-2155887
无损探伤仪:
0415-2150150
传真电话:
0415-2151390
 
YX-7M长晶棒定向仪


  针对客户测量大直径、长尺寸硅晶圆片、晶棒而设计,此仪器为双工作位。

  标准配置如下:GA, GC测角仪。
    1、一侧用于测3--8英寸晶圆片111、100面,还可测晶棒参考面(110)等角度。
    2、另一侧用于测直径5----8英寸,长800mm晶棒(111、100)晶面等角度。

  主要参数:

项 目

参 数

晶棒直径

5---8英寸、最大11寸

晶棒长度

800 mm

样品板面积

43宽×112高mm

定向精度

±30″

数显方式

θ:度;分;秒;最小读数10″

显示器

外置立式

技术指标

符合YX-2参数。

尺 寸

1210×810×1420 mm

 
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