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晶体定向仪:
0415-2155900
传真电话:
0415-2155887
无损探伤仪:
0415-2150150
传真电话:
0415-2151390
 
G系列测角仪
GA型测角仪:
按测量晶圆片,晶棒设计,样品台带有承重轨道,可测30公斤,直径Φ2--6英寸(可增加到8英寸)的晶圆片与晶棒;在样品台上加有真空吸气装置,能测量晶圆片硅(111)蓝宝石A,C,R等其它晶体的角度,同时可测晶棒的参考面或OF面(110)A等角度。
GB型测角仪:
专为硅、蓝宝石晶棒设计,设计为宽130mm、长300mm定位平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托,测直径Φ2--Φ6英寸,长400mm晶棒的端面,如:硅(111)蓝宝石C面等其它晶体的角度;第一个测2---3英寸端面,第二个测4---6英寸端面。
GC型测角仪:
按测晶棒设计,样品台带有承重轨道,有滚杠型支撑架。可测30公斤,直径Φ2--Φ8英寸,长度为400--500mm的晶棒的端面。在样品台上加有真空吸气装置,可通过改变滚杠宽度,达到测Φ2--Φ6英寸目的,转动晶棒用以测量端面如:硅(111)蓝宝石C面等其它角度的晶体。
GD型测角仪:
该型号测角仪专为晶圆片参考面的测量而设计,测切完片后的晶圆片的参考面OF面(110)蓝宝石A面等其它晶体的角度,样品台设有吸气装置,测量直径Φ2--Φ8英寸,厚度0.5mm以上的晶圆片OF面。
GE型测角仪:
该型号测角仪专为大直径晶圆片而设计的,可测直径Φ2--Φ8英寸的晶圆片,如:硅(111)蓝宝石C面等其它晶体的角度,晶片样品板有10×10㎜方格,用于晶圆片上下2点180°和4点90°的测试。
GF型测角仪:
该型号测角仪样品台,专为钻床加工好的籽晶条的测量设计,能测Φ5---Φ20mm圆籽晶,方型5--20mm,长度150mm的籽晶条,测量晶面如:硅(111,100)等其它晶体的角度。
GK型测角仪:
该型号测角仪能测直径Φ2--Φ6英寸晶圆片,通过改变样品板垫块倾斜角±6°,±8°±15°度位置,来测晶圆片角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶体的角度。
GH型测角仪
该型号测角仪能测直径Φ2--Φ6英寸晶圆片,通过旋转90°度,改变样品板倾斜角±6°度位置来测晶圆片的角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶体的角度。
GL型测角仪:
该型号测角仪能测直径Φ2---Φ6英寸晶圆片;如硅(111)蓝宝石C等角度;同时立测能测晶棒参考面或OF,并有垂直参考尺,便于划线加工参考面,如硅:110面等其它晶体的角度。
 
 
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