用 途: 该设备是加工晶棒参考边(OF面)时定向的专用仪器,是外圆滚磨机床后道工序的配套设备,将外圆滚磨机磨好的晶棒放在该仪器上进行定向;然后到平面磨床上磨参考面;其定向角度是固定式,客户可根据自己的晶体材料选择不同晶体的角度,如;蓝宝石A、R面;硅、砷化稼、锗(110)面等晶体的角度。(订货时晶向角度可自选) 特点: 此设备的优点是测量精度高,一台设备的定向、能满足多台平面磨床的使用。标准配置2、4英寸夹具各一套。(订货时夹具尺寸可以选配) 方 法: 把滚磨机床磨好的晶棒放到 V型槽专用夹具中,放到工作台上,使定向头慢慢向下移动直至碰到晶棒为止,打开射线光闸测量其晶向,然后慢慢转动晶棒找到参考边方向,反复几次准确的找到角度最大值;然后将夹具锁紧,连同V型槽专用夹具一同放到平面磨机床上,磨出参考边。
主要技术参数:
X 射线管 |
铜靶,阳极接地,强迫风冷 |
管 电 压 |
30KVP、全压合闸 |
管 电 流 |
0-5mA、连续可调 |
电源输入 |
单相交流220V 、50HZ、 0.5KW |
测量角度 |
固定式蓝宝石A向18°55′ |
计 数 管 |
盖革、电压DC700---1200V |
时间常数 |
0.1、0.4、3秒;3档可调 |
X窗口控制 |
电 磁 光 闸 |
测晶棒重量 |
20Kg晶棒 |
测晶棒直径;长度 |
直径2--4英寸、长50-300 mm |
V槽夹具 |
标准配置、直径2、4、英寸 |
外形尺寸 |
长1140×宽650×高1700 |
仪器重量 |
150KG | |