YX-9型蓝宝石定向粘接设备，主要是针对未切片前的蓝宝石晶棒进行定向与粘接，仪器利用专门设计的夹具对晶棒进行X轴与Y轴的调整，将晶棒偏离的角度定向校准后与料板进行粘接，显示器为外置式，样品托板加装高精度称重直线轨道，可测量直径2-6英寸，长50-260mm的晶棒。
技术参数：
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X 射线管 |
铜靶，阳极接地，强迫风冷 |
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管 电 压 |
30KVP，全压合闸 |
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管 电 流 |
0-5mA，连续可调 |
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电源输入 |
交流220V 不大于0.3KW |
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综合精度 |
±30″ |
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角度数字显示 |
θ：度、分、秒显示，最小读数10″ |
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计数器旋转角度 |
2θ角-10°-----+120° |
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样品晶体旋转角度 |
θ角-10°-----+60° |
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计 数 管 |
盖革计数管，工作电压700---1200V |
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时 间 常 数 |
0.1、0.4、3秒；3档可调 |
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保 护 |
高压连锁保护，温度保护 |
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狭 缝 |
4′、5′、6′ |
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测晶体重量 |
最重30KG的晶棒 |
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测晶体直径 |
一侧Φ2-------Φ6英寸晶圆片、晶棒 |
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测晶棒长度 |
另一侧Φ2-------Φ4英寸,260毫米长晶棒 |
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工 作 位 |
双测角仪、双工作台 |
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外型尺寸 |
1140×650×1030mm |
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仪器重量 |
250KG | |
