用途:YX-6Z硅单晶棒粘接台主要用于晶棒的粘接,与我公司生产的YX-5D;YX-6D\6DA晶体定向仪配套使用,主要用于晶棒定向计算后X与Y偏角棒的粘接。最后用于多线切割机配套使用,操作方便,粘接精度高。 结构:YX-6Z硅单晶棒粘接台晶棒偏角回转台,采用直读特制编码器和高精度数显表,减少了机械转动误差,提高了测量精度。能够粘接直径4~12英寸,长500㎜晶棒,可在一块料板上粘接N个晶棒,双轴编码器分别有X与Y轴数显表,采用国际通常方法,以度为显示单位(0.001度),上述 X与Y 轴编码器与高精度数显表均采用德国进口的产品,同时还配备了晶棒夹紧固定与升降装置,配备了一块称重数显表,用于显示压晶棒的重量,使晶棒与料板结合为最佳值。 主要参数:
电 源 |
220V 50HZ |
功 率 |
0.2KV |
晶棒直径 |
4~12英寸 |
晶棒长度 |
500㎜ |
料板宽度 |
70、100㎜、150㎜ |
角度显示 |
以度为单位、最小读数0.001度 |
X定位板转角 |
±15度(直读) |
Y晶棒旋转角 |
±90度(直读) |
称重数显 |
1~300㎏ |
尺 寸 |
长1100×宽700×高1600 |
重 量 |
500㎏ | |