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用途：将粘接好的晶棒，连同料板一同拿到YX-6F定向仪上，料板底部靠在测角仪的基准面上，打开光闸进行复检测量。YX-6F可对粘接好的晶棒进行X轴的复检测量，测量后的结果可与YX-6D的打印结果进行对照，如有差异，可将晶棒从料板取下，重新粘接，大大保证了切割前晶棒的粘接精度。
技术参数：
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X射 线 管 |
铜靶，阳极接地，强迫风冷 |
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管 电 压 |
30KVP，全压合闸 |
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管 电 流 |
0---5mA，连续可调 |
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整 机 功 率 |
不大于0.3KW |
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定 向 精 度 |
±30″ |
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蜗轮运动误差 |
不大于30″ |
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计数器转角度 |
-10°------+100° |
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样品转角度 |
-10°------+50° |
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计 数 管 |
盖革管，电压600-----1100V |
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时间常 数 |
分0.1、0.4、3秒三档可调 |
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保 护 |
高压连锁保护，温度保护 |
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狭 缝 |
4′、5′、6′ |
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外 型 尺 寸 |
1200mm×650mm×1100mm |
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仪 器 重 量 |
250KG |
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测样品直径 |
硅单晶 Φ3---Φ8英寸晶圆片； |
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测晶棒长度 |
硅单晶 Φ3—8英寸；500毫米长晶棒 |
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