设备名称:
硅单晶棒定向仪
设备用途:
该仪器专门用于硅单晶棒定向测量，与YX-6Z型晶棒粘接仪 配套使用。最大特点是，测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角，X和Y值，根 据偏晶向的要求进行准确计算偏晶向的角度值。测定值可打印，打印记录项目包括晶棒批次信息、方位θ值、测定日期及实间粘接调整角度值。 三、设备配置：该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、单片机控制、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、晶棒自动旋转控制、峰值强度表等组成。计算软件采用国际通常算法，以度为单位，显示最小精度0.001度，测量精度±0.008度，能够测量直径2-8英寸，长100-450㎜，测量晶面为110、100等。设备配有防护罩。 |
