用途:YX-5Z硅单晶棒粘接台主要用于晶棒粘接,与我公司生产的YX-5D;YX-6D\6DA晶体定向仪及多线切割机配套使用,该仪器用于晶棒定向计算出X与Y偏角棒的粘接。测角仪采用直读编码器,减少了机械传动误差,提高了测量精度,X与Y角度编码器与数显仪表选用德国进口,操作方便,测量精度高。 结构:YX-5Z硅单晶棒粘接台能够粘直径3~8英寸,长500㎜晶棒,可在同一块料板上粘接N个晶棒,双轴编码器、分别有X与Y角度数显表,采用国际通常方法,X与Y角以度为单位,最小读数0.001度,X定位转角为±15度,Y晶棒转角±90度,并且有晶棒夹紧固定装置,使之粘接后稳定性好,误差小等优点。 主要参数:
电 源 |
220V 50HZ |
功 率 |
0.2KV |
晶棒直径 |
3~8英寸 |
晶棒长度 |
500㎜ |
料板宽度 |
70、100、150㎜ |
X定位转角 |
±15度(直读) |
Y晶棒转角 |
±90度(直读) |
角度显示 |
以度为单位、最小读数0.001度 |
尺 寸 |
长850×宽550×高140 |
重 量 |
120㎏ | |