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晶体定向仪:
0415-2155900
传真电话:
0415-2155887
无损探伤仪:
0415-2150150
传真电话:
0415-2151390
 
YX-5A高精度晶体定向仪


   YX-5A高精度蓝宝石晶体定向仪:是在YX-2D6A定向仪基础上升级产品,配置单色器,数字显示为6位,最小读数1″,精度±15″针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,操作方便,显示器为外置式,样品台加装承重轨道,属于通用热销机型。
   标准配置如下:GA, GB测角仪
   1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;111, 100, 等角度;能测晶棒参考面110;OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
   2, 另一侧GB专为晶棒设计,设计为宽130,长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托,能测Φ2---Φ6英寸晶圆片;能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 长400晶棒 ;如:硅(111)(100)蓝宝石C面等角度;第一个测2---3英寸端面,第二个测4---6英寸端面。

  主要参数:

项 目

参 数

晶棒直径

2---6英寸、最大8寸

晶棒长度

400 mm

样品板面积

43宽×70高mm

衍射方式

前置 单色器,

定向精度

±15″

数显方式

θ:度、分、秒;

数显单位

6位显示 ;最小读数1″

显示器

立式外置

技术指标

符合YX-2参数。

 
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