YX-2H8大晶棒定向仪是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、砷化镓、蓝宝石等多种晶体设计.主要用于晶圆片、晶棒的测量,显示器为外置式,样品台加装承重轨道。 标准配置为GA 、GC、测角仪 1,一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ8英寸晶圆片;如硅(111)蓝宝石C等角度;同时能测晶棒参考面或OF;如硅:(110)蓝宝石A面等其它晶体的角度。 2, 另一侧GC测角仪能测晶棒端面,测量时可通过改变滚杠宽度达到测量Φ5---Φ8英寸,长500㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)蓝宝石C面等其它晶体的角度。同时也能测晶圆片。
主要参数:
项 目 |
参 数 |
晶圆片直径 |
2—8英寸; 最大11英寸 |
晶棒直径 |
5—8英寸 ;最大11英寸 |
晶棒长度 |
500㎜ ; 最长550㎜ |
样品板面积 |
43宽×112高 ㎜ |
定向精度 |
±30″ |
数显方式 |
θ角:度;分;秒;最小读数10″ |
数字位置 |
外置立式 |
技术指标 |
符合YX-2参数 | |