用途:该仪器专门用于硅单晶棒定向测量,与我公司生产的YX-5Z\6Z及多线切割设备配套使用,最大特点是,测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角,X和Y值,并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值。 结构:该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。计算软件采用国际通常算法,以度为单位,显示最小精度0.001度,测量精度±0.008度(±30〃),能够测量直径3~12英寸,长500㎜,测量晶面为111、100等。 型号: YX-6D为单测角仪,定向计算。 YX-6DA为单测角仪,定向计算,全封闭防护罩。
主要参数:
电 源 |
220V 50HZ |
功 率 |
0.5KV |
管 电 压 |
30KVP |
管 电 流 |
0-5mA |
晶棒直径 |
3~12英寸 |
晶棒长度 |
500㎜ |
测量晶向 |
111、100 |
定向精度 |
0.008度(±30″) |
角度显示 |
以度为单位、最小读数0.001度 |
射线窗口 |
脚踏电磁光闸 |
计算角度 |
α与β(X与Y) |
尺 寸 |
长830×宽950×高120 |
重 量 |
260㎏ | |