单晶定向装置是我公司和北京京联发数控科技有限公司、北京有研半导体材料股份有限公司共同合作研发的。安装在外圆滚磨和端面机床上,该产品的推出,受到半导体材料行业的充分肯定,同时填补了国内空白。市场占有率达95%以上。 定向装置是利用射线衍射原理,在滚磨机和端面机床上精确测定单晶的(110面)蓝宝石A晶向、端面机床C晶向角度。由于该装置与机床机固定在一起,因而消除了由于晶棒二次装夹所带来的定位误差,同时也解决了大尺寸晶棒无法在普通定向仪上定向的问题。并保证了测量晶体角度的精确性,提高了产品定向精度,满足了大批量生产的需求。
该装置与机床配套已广泛应用于单晶硅、蓝宝石、砷化镓、锗等单晶行业。
规 格 表:
名 称 |
项 目 |
测量角度 |
固定式角度 |
外圆滚磨机机床 |
单晶硅:110 |
外圆滚磨机机床 |
蓝宝石:A |
外圆滚磨机机床 |
砷化镓 :110 |
外圆滚磨机机床 |
锗;110 |
端面磨机床 |
蓝宝石:C |
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