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YX-5A高精度蓝宝石晶体定向仪：是在YX-2D6A定向仪基础上升级产品，配置单色器,数字显示为6位，最小读数1″，精度±15″针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,操作方便，显示器为外置式,样品台加装承重轨道，属于通用热销机型。
标准配置如下：GA, GB测角仪
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111, 100, 等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
2, 另一侧GB专为晶棒设计，设计为宽130，长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托，能测Φ2---Φ6英寸晶圆片；能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 长400晶棒 ；如：硅（111）（100）蓝宝石C面等角度；第一个测2---3英寸端面，第二个测4---6英寸端面。
主要参数：
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项 目 |
参 数 |
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晶棒直径 |
2---6英寸、最大8寸 |
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晶棒长度 |
400 mm |
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样品板面积 |
43宽×70高mm |
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衍射方式 |
前置 单色器, |
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定向精度 |
±15″ |
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数显方式 |
θ：度、分、秒； |
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数显单位 |
6位显示 ；最小读数1″ |
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显示器 |
立式外置 |
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技术指标 |
符合YX-2参数。 | |
