YX-9型蓝宝石定向粘接设备,主要是针对未切片前的蓝宝石晶棒进行定向与粘接,仪器利用专门设计的夹具对晶棒进行X轴与Y轴的调整,将晶棒偏离的角度定向校准后与料板进行粘接,显示器为外置式,样品托板加装高精度称重直线轨道,可测量直径2-6英寸,长50-260mm的晶棒。
技术参数:
X 射线管 |
铜靶,阳极接地,强迫风冷 |
管 电 压 |
30KVP,全压合闸 |
管 电 流 |
0-5mA,连续可调 |
电源输入 |
交流220V 不大于0.3KW |
综合精度 |
±30″ |
角度数字显示 |
θ:度、分、秒显示,最小读数10″ |
计数器旋转角度 |
2θ角-10°-----+120° |
样品晶体旋转角度 |
θ角-10°-----+60° |
计 数 管 |
盖革计数管,工作电压700---1200V |
时 间 常 数 |
0.1、0.4、3秒;3档可调 |
保 护 |
高压连锁保护,温度保护 |
狭 缝 |
4′、5′、6′ |
测晶体重量 |
最重30KG的晶棒 |
测晶体直径 |
一侧Φ2-------Φ6英寸晶圆片、晶棒 |
测晶棒长度 |
另一侧Φ2-------Φ4英寸,260毫米长晶棒 |
工 作 位 |
双测角仪、双工作台 |
外型尺寸 |
1140×650×1030mm |
仪器重量 |
250KG | |