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YX-2D6A蓝宝石晶体定向仪：是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,显示器为外置式,样品台加装承重轨道.属于通用型。
标准配置如下：GA, GB测角仪。
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111, 100, 等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度.
2、另一侧GB专为晶棒设计，设计为宽130，长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托，能测Φ2---Φ6英寸晶圆片；能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 长400晶棒 ；如：硅（111）蓝宝石C面等角度；第一个测2---3英寸端面，第二个测4---6英寸端面.
主要参数：
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项 目 |
参 数 |
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晶棒直径 |
2---6英寸、最大8寸 |
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晶棒长度 |
400 mm |
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样品板面积 |
43宽×70高mm |
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定向精度 |
±30″ |
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数显方式 |
θ：度；分；秒；最小读数10″ |
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显示器 |
外置立式 |
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技术指标 |
符合YX-2参数。 |
两边测角仪客户也可根据本公司晶体尺寸、形状选配不同型号测角仪,请参考我公司的G系列测角仪（GA、GB、 GC、GD, GE、 GF、GH）的型号选购配置。
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YX-2D6A 通用型（GA＋GB适用晶圆片、晶棒）
1，一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；如硅（111）蓝宝石C等角度；同时能测晶棒参考面或OF；如硅：（110）蓝宝石A面等其它晶体的角度。
2，另一侧GB专为晶棒设计，配有宽130㎜，长300㎜平托板，配2个可移动尼龙V型晶棒托，能测Φ2---Φ6英寸晶圆片；同时能测Φ2---Φ6英寸, 长400㎜晶棒端面 ；如硅：（111）蓝宝石C面等其它晶体的角度。第一个测2---3英寸，第二个测4---6英。 | |
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YX-2D6B （GA＋GC适用晶圆片、大晶棒）
1，一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；如硅（111）蓝宝石C等角度；同时能测晶棒参考面或OF；如硅：（110）蓝宝石A面等其它晶体的角度。
2， 另一侧GC测角仪能测晶棒端面，测量时可通过改变滚杠宽度达到测量Φ2---Φ6英寸，长400㎜晶棒端面目的，如硅：（111，100）蓝宝石C面等其它晶体的角度。同时也能测晶圆片。 | |
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YX-2D6C （GA＋GD适用晶圆片、晶圆片参考面）
1， 一侧GA测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片，如硅：（111;100）蓝宝石A,C,R面等其它晶体的角度。
2， 另一侧GD测角仪能测，晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圆片的参考面或OF面。如硅：（110 ）蓝宝石A面等其它晶体的角度。 | |
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YX-2D6D （GB＋GF适用晶棒，籽晶条）
1， 一侧GB测角仪能测晶圆片；能测Φ4---Φ6英寸, 长400㎜晶棒端面，如硅:（111）蓝宝石,C,R面等其它晶体的角度。
2， 另一侧GF测角仪配置一个高度可调籽晶测试架，测Φ5—20㎜圆或方型，长150㎜籽晶端面, 如硅:（111）蓝宝石C 面等其它晶体的角度。 | |
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YX-2D6E （GD＋GK适用晶片参考面，正负6°±15°角）
1， 一侧GD测角仪能测，晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圆片的参考面或OF面，如：硅（110）蓝宝石A面等其它晶体的角度。
2，另一侧GK测角仪能测直径Φ2--Φ6英寸晶圆片，通过改变样品板垫块倾斜角±6°，±8°±15°度位置，来测晶圆片角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶体的角度。 | |
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YX-2D6F （GE＋GD适用晶圆片、园片参考面）
1，一侧GE测角仪专为测大直径晶圆片而设计，测直径2--8英寸的晶圆片，高400㎜晶棒，如硅：（110）蓝宝石C面等其它晶体的角度，样品板有10×10㎜方格，用于晶圆片2点180°和4点90°的测试。
2，另一侧GD测角仪能测、晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圆片的参考面或OF面,如硅：（110）蓝宝石A面等其它晶体的角度。 | |
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YX-2D6G （GD＋GH适用晶片参考面，正负园片±6°角）
1，一侧GD测角仪能测，晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圆片的参考面或OF面。如硅：（110）蓝宝石A面等其它晶体的角度。
2，另一侧GH测角仪能测直径Φ2--Φ6英寸晶圆片，通过旋转90°度，改变样品板倾斜角±6°度位置来测晶圆片的角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶体的角度。 | |
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YX-2D6H （GL＋GC适用晶圆片、大晶棒）
1，一侧GL测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；如硅：（111）蓝宝石C等角度；同时立测能测晶棒参考面或OF，并有垂直参考尺，便于划线加工磨参考面，如硅：（110）面等其它晶体的角度。
2， 另一侧GC测角仪能测晶棒端面，测量时可通过改变滚杠宽度达到测量Φ2---Φ6英寸，长400㎜晶棒端面目的，如硅：（111，100）蓝宝石C面等其它晶体的角度。同时也能测晶圆片。 | |
说明：上述型号的配置也可以用在YX-2H8机型框架上。可根据客户的要求设计加工特殊工作台，请来电咨询，我们将热情为您回复。
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